精密水冷冷冻水机组：毫 K 级温控解决方案-极测（南京）

一、极测(南京)技术有限公司精密水冷冷冻水机组:技术原理构建控温壁垒

极测(南京)技术有限公司的精密水冷冷冻水机组融合多项专利技术,打造超精密温控核心能力:

(一)高精密控温技术:动态平衡的 “神经中枢”

机组搭载自主研发高精度温度采集模块,实时捕捉供水温度数据并传输至控制器,通过冷冻水阀无级调节与电加热器协同工作,结合PID算法及逐级控温专利技术实现温度偏差的精准计算与动态调节。例如,在半导体极紫外光刻工艺中,该技术可将精密水冷冷冻水机组的出水温度波动控制在±0.001℃,满足纳米级制造对温度稳定性的严苛要求。

(二)制冷循环:逆卡诺原理的工业级创新实践

基于逆卡诺循环原理,精密水冷冷冻水机组通过压缩机、蒸发器、冷凝器、膨胀阀四大部件的精密协作,实现热量高效转移:

绝热压缩:低温低压制冷剂蒸汽经压缩机转化为高温高压气体;

等温冷凝:高温高压气体在冷凝器中向冷却水释放热量,冷凝为液态;

绝热膨胀:高压液体通过膨胀阀节流,变为低温低压气液混合物;

等温蒸发:混合物在蒸发器中吸收冷冻水热量,完成制冷循环。

这一过程通过精确控制制冷剂流量与压力,为精密水冷冷冻水机组的超精密控温奠定物理基础。

(三)智能控制算法:精度升级的 “数字引擎”

PT100 温度传感器与PID 控制算法形成基础控温链路,控温精度达 ±0.1℃~±0.01℃;

高精密逐级控温专利设计(如分级制冷回路)进一步细化控制层级,部分机型引入自适应模糊控制算法,在激光加工、医疗设备等复杂场景中,将精密水冷冷冻水机组的控温精度提升至±0.001℃(毫 K 级)。

(四)换热器技术:效率与可靠性的 “硬件根基”

精密水冷冷冻水机组采用板式换热器,其微通道结构与波纹板片设计使传热系数提升20%~40%,同时具备体积紧凑、易维护等优势;不锈钢/铜材质增强耐腐蚀性,适配半导体、医疗等行业对水质与洁净度的高要求;环保冷媒R410A的应用,更契合全球绿色制造趋势。

二、极测(南京)技术有限公司精密水冷冷冻水机组:三大核心特性定义行业标杆

(一)毫K级控温精度:重塑温度控制极限

依托 “超高精度工艺冷却水系统及其恒温控制方法” 专利,精密水冷冷冻水机组的出水温度波动度可达±0.001℃,在晶圆制造的光刻环节,可确保温度漂移控制在毫K级,有效降低芯片缺陷率。此外,机组具备分钟级快速控温能力,即使面对设备启停或负载突变,也能迅速恢复至设定温度,满足半导体设备连续生产的高稳定性需求。

(二)全生命周期稳定性:复杂工况下的 “抗压专家”

硬件冗余与抗干扰设计

压缩机、水泵等核心部件采用双机并联冗余设计,单部件故障时备用模块自动切入,保障 24 小时连续运行;

机组底座配置减震弹簧 / 橡胶垫,电气系统采用屏蔽线缆与抗干扰滤波装置,可在工业生产线的高振动、强电磁环境中稳定工作。

智能监控与动态调节

通过 PLC 控制系统实时采集温度、压力、流量等参数,形成数据闭环反馈,异常时自动调节(如调整膨胀阀开度、增大冷却水流量);

变频技术(压缩机 / 风扇变频)实现制冷量与负载动态匹配,在 20%~100% 负荷区间保持高 COP 值(部分负荷 COP>5.0),避免能源浪费。

长效抗衰减与安全防护

换热器采用不锈钢纳米涂层与水质软化系统,运行 5 年传热效率下降<5%(普通机组下降 10%~20%);

配备高压保护、断流保护等 6 重安全装置,支持 - 10℃~45℃宽温运行与 ±10% 电源电压波动适应,极端工况下仍可通过防结冰保护等机制保障系统安全。

(三)节能高效与灵活定制:性能与适配性的 “双重优化”

节能设计:永磁同步变频压缩机较定频机组能效提升 30%,动态休眠模式下功耗低至额定功率的 5%;

定制化能力:提供单 / 双通道制冷方案,冷量覆盖 1.5kW~50kW(H 系列机型),支持尺寸、接口(DN20~DN50)及多回路控制定制,可满足实验室小型装置至工业级大型产线对精密水冷冷冻水机组的差异化需求。

三、极测(南京)技术有限公司精密水冷冷冻水机组:四大领域解锁应用价值

(一)半导体与电子制造:精密工艺的 “温度守护者”

光刻 / 蚀刻场景:为 EUV 光刻机、等离子蚀刻机配套精密水冷冷冻水机组,提供 ±0.001℃控温,确保纳米级图形转移精度;

晶圆生长 / 测试场景:控制外延炉、探针台温度稳定性,避免热形变对芯片性能测试的干扰;

客户案例:已服务知名芯片企业,保障面板制程与芯片封装环节的温度可靠性。

(二)医疗与生命科学:精准温控的 “科研助手”

核磁共振(MRI)场景:为超导磁体提供稳定冷却,通过精密水冷冷冻水机组防止液氦失超导致的设备停机;

冷冻电镜(Cryo-EM)场景:控制样本台温度波动<±0.1℃,为蛋白质结构解析提供稳定环境;

药品生产场景:在生物反应器、冻干机中实现 ±0.5℃控温,保障疫苗、单抗等生物药的活性与质量。

(三)高精度光学与激光:光学仪器的 “温度基准源”

天文观测场景:为大型望远镜镜面提供 ±0.02℃恒温冷却,减少热变形对观测数据的影响;

激光加工场景:通过精密水冷冷冻水机组稳定激光器腔体温度,确保激光功率波动<1%,提升精密焊接、切割的一致性;

光学镀膜场景:在真空镀膜机中控制基板温度,避免膜层应力导致的透光率偏差。

(四)新能源与材料研究:前沿探索的 “温控引擎”

电池研发场景:控制电解液温控箱温度,优化锂离子电池充放电循环寿命;

材料合成场景:在石墨烯制备、纳米颗粒合成中实现 ±0.1℃控温,保障材料成分与结构的一致性;

涂布工艺场景:为锂电池涂布机烘箱提供 ±0.05℃冷却水温控,避免涂层厚度不均影响电池性能。

四、技术实力:专利矩阵构建竞争壁垒

极测(南京)技术有限公司围绕精密水冷冷冻水机组累计采用9项相关发明专利,核心专利如 “超高精度工艺冷却水系统及其恒温控制方法”、“高精密温湿度环控系统装置”等,覆盖硬件设计、算法优化、系统集成全链条。目前,机组已通过国际知名芯片半导体机构、国际知名通信机构、国内知名研究所等行业标杆的实际验证,成为国产精密温控设备的技术引领者。

极测(南京)技术有限公司的精密水冷冷冻水机组,以毫K级控温精度、全场景适应性及绿色节能设计,成为高端制造与科研领域的刚需设备。其技术创新不仅解决了国内精密温控领域的 “卡脖子” 问题,更通过持续迭代的产品性能,助力半导体、医疗、新能源等行业突破工艺极限。未来,随着国产替代进程加速,极测(南京)技术有限公司或将凭借精密水冷冷冻水机组的领先优势,在全球精密温控市场中占据更重要的地位。