实际案列|单面双工位手套箱

米开罗那与安徽某光电科技有限公司达成合作协议,该公司主要经营范围包括:电子用材料研发;电子用材料制造;电子元器件零售;半导体分立器件制造;电子元器件与机电组件设备制造;光伏设备及元器件制造等。

米开罗那为其提供的手套箱型号为:

单面双工位手套箱,集成双柱净化单元、冰箱、超净过滤器、全自动大T型方仓。

米开罗那为其提供的手套箱功能为:

O 密闭循环

单面双工位手套箱内的惰性气体经循环风机和净化器密闭循环,不断地除水除氧,直到水氧指标小于1PPM。

O 自动控制再生

除水除氧材料可以再生,再生过程由程序控制

O 自动清洗

手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成

O 箱体压力控制

手套箱内压力通过PLC自动控制,工作压力+/-15mbar内可以自由设定,超出+/-16mbar系统自动保护

O 真空泵自动控制

真空泵要求在系统需要时自动开启

米开罗那为其提供的手套箱基本配置为:

箱体:1个304不锈钢的箱体,耐酸,厚度3mm,手套箱内表面采用油膜拉丝处理工艺,外表面为白色喷塑。手套箱箱体长为1800mm,深度为750mm,高度为900mm,连接过渡仓一侧箱体局部加宽;内置三层不锈钢搁物架。

过渡仓:左侧1个不锈钢制成的全自动大T型方仓,通径300*300mm,长度500mm;1个不锈钢小过渡仓,直径150mm,长度300mm。全自动大T型方仓内表面采用拉丝处理,外表面为白色喷塑;三门设计,两个内门升降自动门,铝合金门板,阳极氧化处理;一个外门手动合页门,铝合金门板,阳极氧化处理。自动门按照洁净工况设计。内置双向移动组件,可传输物料至左右两个手套箱箱体内。外置电机和磁流体密封件。按照洁净工况设计。电磁阀控制抽补,触摸屏操作,自动门开关与传动装置互锁。

视窗、手套:手套箱视窗为倾斜状态,材质为透明钢化安全玻璃,厚度为8MM。玻璃视窗采用实芯O型密封圈(真空密封方式)法兰视窗结构;带4个材料为铝合金的O型手套口,O型圈密封,易于维护,且密封性能好,配四个直接8英寸,长度32英寸的丁基橡胶手套。

超净过滤器:手套箱体顶部配备1套超净除尘过滤系统(FFU),过滤器规格为0.3微米,拥有一个气体入口和一个气体出口,气体通过除尘风机和高效除尘滤芯后可产生从上到下的层流,箱体内气体从底部通过循环管道再次送回除尘系统中,洁净度达到10级(根据美国FED标准209E),ISO4(根据国际标准ISO14644-1),配备压差计用来测量除尘滤芯前后压差,当压差大于一定值时,需更换除尘滤芯。

冰箱:冰箱安装在手套箱右侧,和主设备不锈钢法兰连接,压缩机与主体分离,减少震动,冰箱内门尽可能降低影响主设备体内的空间使用。温度范围可低至-35℃,内胆尺寸:220mm*300mm*450mm,电源电压为220V/50HZ。

快换有机溶剂吸附器:采用3mm厚的304不锈钢为材质,直径238mm,高度407mm,材料,填充10kg高效活性吸附材料,与主循环管道相联,循环气体可首先通过吸附器,主要吸附挥发出来的有机气体。

1套英国进口水分析仪:测量范围:0~1000ppm,水分析仪的输出连接到PLC,检测数值在触摸屏上显示(PPM),可以设定报警值采用氧化铝陶瓷薄膜探头,超高灵敏度,超宽检测范围,响应快速。

1套美国进口氧分析仪:测量范围:0~1000ppm,氧分析仪的输出连接到PLC,检测数值在触摸屏上显示(PPM),可以设定报警值,采用电化学电池,超高灵敏度,超宽检测范围,响应快速。

控制系统包括:自诊断、断电自启动特性,具有压力控制和自适应功能;自动控制、循环控制、密码保护。箱体工作压力+/-15mbar内可以自由设定,超出+/-16mbar系统自动保护。

其他:还有1套照明系统安装在手套箱视窗前上方,便于观察箱内实验过程;1台高性能的中国台湾进口循环风机,流量90m^3/h,加装变频;1套净化系统,内含德国、美国进口的净化材料;1台英国进口干泵,可手动或通过PLC启动,流量11.4m^3/h,可对过渡舱抽真空,并保持箱体压力平衡,真空泵极限真空度0.007mbar;